Gå til hovedindhold
UdbudsScanner
Alle udbud
TED285354-2025

tender for a batch spray tool

Ordregiver
Danmarks Tekniske Universitet - DTU
Oplyst værdi / estimat
1.100.000 EUR
Frist
2.6.2025
Publiceret
2.5.2025
CPV
38000000
Leveringssted (NUTS)
DK012, DNK

Dataposten opdateret . Datakilder, dækning og beregningsmetode.

Beskrivelse
DTU Nanolab requires one spray tool equipped with ozone, HF, HCl and NH4OH for wafer cleaning purposes. The tool is to be able to handle batch processing (up to 25 wafers per run). The tool will be used in our ISO 14644-1 Class 4 and 5 clean room. The tool will be used by many different users with diverse backgrounds, which means that operator safety is an important aspect. Another important aspect is the ease of use with special attention on software operation and setup change for different wafer sizes. Please see Appendix 1 Requirement specification for further information.

Procedure og udbudsmateriale

Oplysninger fra bekendtgørelsen kan dække flere delkontrakter. Listerne nedenfor er separate uddrag; rækkefølgen kobler ikke et kriterium til en beskrivelse eller delkontrakt. Kontrollér krav, vægtning, frister, optioner og eventuelle rettelser i originalmaterialet.

Proceduretype (kildens kode)

  • open

Tildelingskriterier

  • Price
  • Quality

Beskrivelser af tildelingskriterier

  • See instructions to tenderers

Oplyste optioner

  • Options under the Agreement can be purchased as add-ons/activated by DTU within one year after Delivery (completed SAT). The agreement includes two separate options, see appendix 1.1.

Aflevering af tilbud

Åbn originaludbud

Andre bekendtgørelser i samme CPV-kategori

Nyeste bekendtgørelser med samme firecifrede CPV-kategori. Listen kan omfatte både åbne udbud og historik.